株式会社ヒロテック

半導体関連製品
IMTEC ACCULINE
TREBORE INTERNATIONAL
Precision Sensors
BECO
Trylaner
iCon
計測機器製品
celesco
プリント基板製品
CODEXMA

製品一覧はこちらから

製品紹介PRODUCT INTRODUCTION

製品一覧

アイコン ダイナミクス社 製品紹介

半導体関連製品

アイコン ダイナミクス社は半導体産業および最先端産業の工程で使用される超高純度ガス、液体、ベーパーの供給システムの開発およびコンサルティングを専門にしている会社です。50年以上の経験と高い技術力でユニークな製品を開発しています。

SMR(Self-Metering Reservoir)
・コンパクト
・2重容器構成
・シンプルな浮揚特性
・インナーベゼルは供給量と補充量を計量
・使用中のインナーベゼルの容量は常に一定
・液位センサなしでのリアルタイム補充
・使用液量の減少
・オンボード温度インターフェース
・安定した液位によるバブルの発生時間の再現性
・PID温度制御によるバブルの飽和状態の再現性
・供給を中断しない安定した運転
smr_bu1000_jp.pdf
●SMR バブラー 
smr_fe500_jp.pdf
●SMR 気化装置

↑PAGETOP