石英インラインヒーター、石英バス|株式会社ヒロテックIMTEC社の石英槽、ヒーターのご紹介
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製品紹介PRODUCT INTRODUCTION

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イムテック社 製品紹介

半導体関連製品

IMTEC ACCULINE社は1972年に設立以来、高品質な製品を世界各国の半導体業界500社以上に納入してきました。特に温度コントロール石英槽の分野では、アキュバス®の名で知られており、オーバーフロー槽、ナイトライドエッチシステム等では世界のリーディングメーカーとして、その役割を果たしてきました。 アキュバス®は長年の経験と研究の結果から耐久性と正確な温度コントロールを可能にしました。インコーネルヒーターを使用することにより低温度域での昇温を可能とし均一な温度分布を可能とし、また専用コントローラーとRTDセンサにより±0.2℃の精密温度コントロールを実現しました。安全面においては、熱電対とサーモスタットによる二重の過熱防止機構が備わっています。 正確さ、安全性、耐久性、のどれをとっても他社に類を見ない業界でも認められた温度コントロールバスです。

純透明石英温度コントロールバス

サファイア基板ウェットエッチング用石英バス 高温タイプ「Xe-Series」
・薬液温度:最高300℃
・接液部:全て石英
・排液用石英製アスピレター装備
・リカバリータンクおよびエマージェンシータンク装備

Xe-Series

卓上型サファイア基板ウェットエッチング用石英バス 高温タイプ「XE-LAB」
・高輝度LED用ウェットPSS(Patterned Sapphire Substrate)の研究用に最適
・薬液温度:最高300℃
・接液部:全て石英
・コントローラユニット
2インチ用石英カセット標準付

Accubath XE-LAB.pdf

石英スタティックバスQZシリーズ
・190℃まで昇温可能な高純度石英バス。
・300mmウェーハまでの標準サイズに対応。
・特注品即対応。

accubath_qz.pdf

石英リサーキュレーションバスQRT/Sシリーズ
・QZシリーズの石英槽にケミカルリサーキュレーションを加えたバス。
・液面の問題緩和するための特許貯水機構。
・30l/minまでの流量で気泡の混入を防止。
・特許を取得したフランジデザインによりケース への熱影響を軽減。

acubath_qrt.pdf

石英ナイトライドバスQNシリーズ
・ 純水コントローラー、石英槽、コンデンサ、確実にシールされた蓋の組合せ等により手動/自動運転時に正確なフローコントロールと安定した定量作動。
・コンスタントなボイリングポイント(酸濃度)、次工程への安定性と円滑な供給。
・Si3N4エッチ(ナイトライドエッチ)の最も有効、信頼性と安定性に富んだシステム。

accubath_qn.pdf

ステンレススタティックバスSSシリーズ
・QZシリーズと同様仕様。
・溶剤やD.I.W.リンス工程などの特殊薬品に最適。
・電解研磨されたSUS316でウェットサーフェイス、シームレス構造。
・半導体ラボ用アプリケーションに最適。

PFA被覆ステンレスバスSTシリーズ
・SSシリーズと同様仕様。
・PFA被覆されたSUS316。
・王水、フッ酸、KOH等の薬液に最適。

pfa_st.pdf

アクアシール(オプション)
・処理槽と外装間のシール部に水を流し、シールの腐食を防ぐ。
・突発事故/故障を減少させ、生産能力を向上させる。
・バスの長寿命化による、在庫、修理費用、交換時間等の軽減。
・全てのバスに対応。(保証30ヶ月)

aquaseal.pdf

ACCHEAT

石英インラインヒーター
・インコネルヒーターを使用したインラインヒーター。
・外装はテフロン(PTFE)を使用。
・高温にならないので、窒素パージ、CDA冷却装置などは不要。
・耐圧性に優れる。(4.2Kg/cm2)
・コンパクトサイズ。縦置き/横置き共に設置可能。
・3KW〜18KWの多彩なラインナップ
・24ヶ月保証

accuheat_sekiei.pdf

SiCインラインヒーター
・フッ酸・アルカリ液(KOH、TMAH)対応
・SiCチューブを使用
・ヒーターを直接貼ることにより、最適な効率で高精度な温度制御
・接液部は、SiC及びPFAのため従来のヒーターと比べコンタミ発生を防ぐ
・ランプ交換・CDAは不要でメンテナンスフリー
・縦置き、横置き設置が可能のコンパクトサイズで省スペースを実現
・循環・シングルバスプロセスともに対応可
・4.5kw〜18kwまで多彩なラインナップ

accuheat_sic.pdf

ACCMEG

メガソニック洗浄装置
・950KHzによる超音波洗浄で<0.2μmのパーティクルを除去。
・間接方式では130℃までのプロセス温度で使用可能。
・各種タンク:スタティック、リサーキュレーション、QDR、カスケードリンス。
・各種タンク材質:石英、ステンレス、プラスチック。
・QDRはユニークな構造により1.5秒以内で排液。

RESISTGARD

レジストガード
・白色蛍光灯に装着するだけで530nmまでの波長をカットする。
・通常のフォトレジスト工程に最適。
・蛍光灯のガラスの飛散防止にも効果的。

resistgard.pdf